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真空燒結爐結構上要滿足哪些要求呢
發布時間:2022-03-31   瀏覽:6379次

  真空燒結爐結構上要滿足哪些要求呢

  真空燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進行,燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行精確的控制。

真空燒結爐

  因此,真空燒結爐在結構上應滿足以下要求:

  (1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。

  (2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保證爐內保護氣氛暢通。

  (3)爐內的各段溫度可控,燒結氣氛可調。

  (4)具有快速冷卻裝置,可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。

  真空燒結爐使用的注意事項

  (1)當使用氫氣或分解氨時,要先通入氮氣,在確保爐中的空氣完全被排出時,才能通電升溫,以防止打鳴和爆炸。

  (2)對鉬絲作加熱元件的燒結爐,在通電前爐體中應通入保護氣體,以防止鉬絲氧化而脆斷。

  (3)真空燒結爐爐門及氣體排出口應點明火燒除,以防止氧氣進入或氫氣排出而發生爆炸危險和煤氣中毒危險。

  (4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲,在升溫至1100℃時應停留一段時間(30min左右)再升溫,以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。

  (5)在升溫前和操作中應不時檢查氣流、水流是否符合要求,以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。

  (6)停爐前應先斷電,在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。

  (7)除了因維修要停真空燒結爐爐外,要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開停,會造成加熱元件易于老化,耐火材料易于碎裂,爐內氣氛不純,爐溫容易波動等弊端。

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