真空燒結爐常見泄漏點及檢漏方法介紹

　　一臺漏率合格的真空燒結爐，先需要保證爐體內的高真空，但作為一個系統，與爐體相連的各部分也都必須無泄漏點才能保證真空的保持。因此，在判定設備的漏點時需先從真空系統分析其可能存在的漏點，常見位置包括：

　　1、機械泵、羅茨泵、擴散泵等真空泵組泄漏；

　　2、冷凝器內毛細管及毛細管與法蘭連接處泄漏；

　　3、真空管道與彎頭連接處及管道之前焊接處泄漏；

　　4、真空閥門本身及其與管道連接處泄漏。

　　下面我們再來了解檢漏方法

　　真空燒結爐檢漏的方法很多，根據被檢設備所處的狀態可分為氣泡檢漏法、升壓檢漏法和氦質譜檢漏法三種。

　　1、氣泡檢漏法

　　氣泡檢漏法是將空氣壓入被檢部件，然后將其浸入水中或對其可疑表面涂上肥皂液，如果被檢部件上有漏孔，肥皂液就會鼓起氣泡，通過觀察氣泡可以判斷漏孔的存在和位置。這種檢漏方法主要用于被檢真空爐的連接處采用法蘭螺栓連接等可以承受正壓的場合，可用于小型燒結爐或真空管路的檢漏。如果燒結爐由于結構復雜、體積較大、結合面較多，通常在檢漏初期采用氣泡檢漏法，該方法經濟實用，能取得較好的檢漏效果。

　　2、升壓檢漏法

　　升壓檢漏法是當被檢容器內真空度達到100Pa以下時，在懷疑有泄漏的地方涂抹丙酮等易揮發液體，如果有漏孔，丙酮氣體就會通過漏孔進入被檢容器內部，可從真空監測儀表上顯示壓力是否突然有明顯的升高來判斷該設備是否有泄漏，并且判定漏孔的存在、位置。在真空燒結爐檢漏中期，即氣泡檢漏法不能完全找到設備漏點時，采用升壓檢漏法可進一步檢測出設備的漏點，效果良好。

　　3、氦質譜檢漏法

　　氦質譜檢漏是一種常見也是更可靠的真空爐檢漏方法，它是利用氦質譜檢漏儀的磁偏轉原理，對于泄漏氣體氦氣反應靈敏，從而確定漏點的檢漏方式。這種檢漏方法充分利用了氦氣的強滲透、易流動、易擴散等性能，檢漏過程不易受干擾，不會誤判，反應快。在真空燒結爐檢測時，首先給管路充氣，把檢漏儀按照要求接好，檢漏儀監測點盡量接在前級真空管路上；其次是考慮檢漏點的檢漏順序，一般來說，經?；顒拥恼婵詹糠质莾炏瓤紤]的，比如真空室門的密封圈等，然后考慮真空系統的靜態接觸點，如真空規處、真空管路的外接法蘭處等，之后是氣路系統和水路系統。